Eines der wichtigen Merkmale von Gaslasern besteht darin, dass das Lasermedium eine Mischung aus Gasen oder ein einzelnes reines Gas ist. Daher gelten besondere Anforderungen an die Reinheit der Komponenten des Laser-Mischgases, und auch die zum Verpacken des Mischgases verwendeten Stahlflaschen müssen vor dem Befüllen getrocknet werden, um eine Kontamination des Mischgases zu verhindern. Gilt der Helium-Neon-Laser als erste Generation der Gaslaser, ist der Kohlendioxidlaser die zweite Generation der Gaslaser, der KrF-Laser, der in der Halbleiterfertigung weit verbreitet ist, kann als dritte Generation der Laser bezeichnet werden.
