Gasbeschreibung
Tetrafluorkohlenstoff, auch bekannt als Tetrafluormethan. Farbloses, geruchloses und geruchloses Gas. Unlöslich in Wasser, 0,0015 bei 25 °C unter Normaldruck, löslich in Chloroform und Benzol. Dieses Produkt ist ungiftig und nicht brennbar. In hohen Konzentrationen hat es eine anästhetische Wirkung. Sein hochreines Gas und seine Mischung mit hochreinem Sauerstoff sind derzeit das am häufigsten verwendete Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie. Chemicalbook kann auch als Niedertemperatur-Kältemittel und Isoliermedium verwendet werden. Gute chemische und thermische Stabilität, inert gegenüber vielen Reagenzien, nicht hydrolysiert bei 1000 °C. Bei Raumtemperatur reagiert es nicht mit Kupfer, Nickel und Wolfram. Aufgrund der starken chemischen Stabilität der CF-Bindung können die durch CF4 repräsentierten Perfluorkohlenstoffe als im Wesentlichen ungiftig angesehen werden.
Hauptverwendungszwecke
Kohlenstofftetrafluorid ist derzeit das am häufigsten verwendete Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie. Es wird häufig zum Ätzen von Dünnschichtmaterialien wie Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Phosphorosilikatglas und Wolfram verwendet. Es wird auch häufig bei der Oberflächenreinigung elektronischer Geräte, der Herstellung von Solarzellen, der Lasertechnologie, der Tieftemperaturkühlung, der Gasisolierung, Lecksuchmitteln, der Lagekontrolle von Weltraumraketen, Reinigungsmitteln, Schmiermitteln und Bremsflüssigkeiten in der Produktion gedruckter Schaltkreise eingesetzt . Aufgrund seiner starken chemischen Stabilität kann CF4 auch in Branchen wie der Metallschmelze und der Kunststoffindustrie eingesetzt werden.
Lagerung und Vorsichtsmaßnahmen
In einem kühlen und belüfteten Lagerhaus für nicht brennbare Gase lagern. Halten Sie sich von Funken und Wärmequellen fern. Die Lagertemperatur sollte 30 °C nicht überschreiten. Es sollte getrennt von brennbaren Materialien und Oxidationsmitteln gelagert werden und eine gemischte Lagerung sollte vermieden werden. Der Lagerbereich sollte mit Notfallausrüstung für Lecks ausgestattet sein.
