Wirkung
In der Familie der elektronischen Gase sind Silan, Phosphan, Boran und Arsan weit verbreitet und äußerst wichtige Rohstoffe für die IC-Herstellung. Phosphan ist eine wichtige N-Typ-Dotierungsquelle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und wird auch in Prozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung von Polysilizium, epitaktischen GaP-Materialien, der Ionenimplantation, dem MOCVD-Prozess und der Herstellung passiver Filme auf Phosphorsiliziumglas (PSG) eingesetzt.
PH3, entzündbar, explosiv, hochgiftig, mit Toxizitätswerten von PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, ist eine hochgiftige gefährliche Substanz.
Notfallmaßnahmen und Entsorgung
1. Notfallmaßnahmen bei Leckagen
Evakuieren Sie das Personal umgehend aus dem kontaminierten Bereich in Richtung Windrichtung und isolieren Sie es umgehend auf 450 Meter. Beachten Sie dabei strenge Ein- und Ausgangsbeschränkungen. Unterbrechen Sie die Brandquelle. Rettungskräften wird empfohlen, umgebungsluftunabhängige Überdruck-Atemschutzgeräte und Schutzkleidung zu tragen. Unterbrechen Sie die Leckagequelle so weit wie möglich. Sorgen Sie für ausreichende Belüftung und beschleunigte Diffusion. Verdünnen und lösen Sie das Gas mit Sprühwasser auf. Bauen Sie Dämme oder graben Sie Gruben, um große Mengen des anfallenden Abwassers aufzunehmen. Verwenden Sie nach Möglichkeit einen Abluftventilator, um das ausgetretene Gas in einen offenen Bereich zu leiten, oder installieren Sie eine geeignete Düse, um es abzubrennen. Leckagebehälter sollten vor der Verwendung ordnungsgemäß gehandhabt, repariert und überprüft werden.
2. Schutzmaßnahmen
Atemschutz: Unter normalen Arbeitsbedingungen ist eine gefilterte Gasmaske (Vollgesichtsmaske) zu tragen. In Umgebungen mit hoher Konzentration ist das Tragen eines Atemschutzgeräts oder Sauerstoffgeräts erforderlich. Es wird empfohlen, bei Notfallrettung oder Evakuierung ein Atemschutzgerät zu tragen.
Augenschutz: Chemikalienschutzbrille tragen.
Körperschutz: Tragen Sie eine selbstklebende Gasjacke im Maskenstil.
Handschutz: Gummihandschuhe tragen.
Sonstiges: Rauchen, Essen und Trinken sind am Arbeitsplatz strengstens verboten. Nach der Arbeit duschen und die Kleidung wechseln. Achten Sie auf gute Hygiene. Das Betreten von Tanks, geschlossenen Räumen oder anderen Bereichen mit hoher Arbeitskonzentration muss beaufsichtigt werden.
3. Erste-Hilfe-Maßnahmen
Einatmen: Schnell vom Unfallort an einen Ort mit frischer Luft bringen. Halten Sie die Durchgängigkeit der Atemwege aufrecht. Bei Atembeschwerden Sauerstoff verabreichen. Bei Atemstillstand sofort künstliche Beatmung durchführen. Suche medizinische Behandlung.
Löschverfahren: Feuerwehrleute müssen Filtergasmasken (Vollgesichtsmasken) oder Atemschutzmasken tragen, Ganzkörper-Feuer- und Gasschutzkleidung tragen und den Brand gegen den Wind löschen. Die Luftzufuhr abstellen. Kann die Gaszufuhr nicht sofort abgestellt werden, darf das brennende Gas nicht gelöscht werden. Kühlen Sie den Behälter mit Sprühwasser und bringen Sie ihn, wenn möglich, vom Feuer ins Freie. Löschmittel: Sprühwasser, Schaum, Trockenpulver, Kohlendioxid.
